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第43章 老头带回来的坏消息（第2页）

“至于能不能批量生产，能不能大规模商用，没有一个人关心！

并且，上级也知道，生产上不能指望这些设备！”

说完，又颓然的缓缓坐下。

“这——这——这！”

林天河这了半天，也想不出合适的词来形容这么扯淡的情况。

老头满脸无奈，摇着头说道：“我能够画出图纸，你说有什么用呀！

他们完全造不出来呀！”

林天河一脸疑惑，这都有图纸了，怎么会造不出来呢？

没什么道理吧？毕竟现在的光刻机，没有那么复杂吧？

后世的光刻机有几万个零部件，现在才哪到哪呀？

不等林天河发问，老头接着说道：“光刻机原理其实很简单，就是把掩膜板的图纸投射在光刻胶上。

你可以看成是，用光去照射一张纸上面、切割出来的一条条隙缝，漏出来的光投射到光刻胶上。

光刻胶感光，变得容易腐蚀。”

林天河想了想说道：“那不就是有些工人先刻出模子，再往上面涂抹颜料，就出现图形嘛！

这个我懂！”

老头说道：“那个模子，就类似掩膜板。

我先说镜头，光越细，就越容易出现干涉条纹，这个你上中学应该学过。

但是光刻机需要高精度，就必须使用短波长的光，现在基本都是用的汞光源的紫外光，就是让光不产生或者少产生干涉条纹。”

“但这还是不够，还要用到镜头，通过几块、十几块、甚至几十块透镜组合，让光线更好的聚焦。

这就要求镜头极其光滑，打个比方，如果把一块镜头扩展到地球这么大平面，不能有一个几厘米高的土堆！”

“以后随着精度的提高，对镜头的要求，也会随之提高！

同时，玻璃虽然透光，但是镜头多了，光线也会衰减，这就需要透光率更高的玻璃！”

林天河目瞪口呆，他原来知道镜头技术含量很高，但没想到这么高！

这镜头怎么抛光？

打磨镜片的师傅手工抛光？

老头却猜到了林天河所想，说到：“你想的没错，他们现在是使用老师傅手工抛光！

那台光刻机上面的镜头，是从几百片镜片中挑出来的！”

“我原想，他们既然能够生产3微米的光刻机了，那镜头应该不是问题，实际上却是大问题！

我之前觉得能手搓光刻机，也真够狂妄无知了！”

老头满脸沮丧，他又何尝不是心里拔凉？但老头还没说完，接着又说到：“不光是镜头，工件台的问题也很大！

步进投影式光刻机，采用的是缩放投影的方式工作。

因此曝光区不再是整个硅片，而是其中的一小块面积，所以每曝光一次，硅片就必须移动到下一个区域再曝光，直到全部完成。”

“这样好处是提高了光刻的分辨率，但是曝光工作大量增加，这就是以牺牲速度换来更高的精度。”

“工件台的定位精度影响对准精度，运动的速度决定了光刻机每小时的硅片曝光量，光刻机的精度和效率全靠工件台的技术水平。”